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大型臭氧发生器主体设备包括：电源、测控、放电室三部分。其中电源技术结合测控技术为核心关键技术，放电室为要求严格的精密机械结构，只有电源和放电室容性负载匹配好，系统才能稳定运行，故障率低，臭氧产量浓度高。应注意大功率电源的过压、过流、过载保护，高压变压器的连续运行温度及绝缘强度问题及臭氧反应塔（池）湿气回流高压放电室保护问题，只有系统精心设计、施工、保护，方能有好的运行质量。